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■高純度
石英ガラスは、非常に高い純度を持っています。
高集積化が進み、ごく微量の不純物も許されない半導体製造プロセスにおいても、純度の高い石英ガラスが反応管として用いられています。


■優れた耐熱性と極めて低い熱膨張係数
石英ガラスは、優れた耐熱性と、極めて低い熱膨張係数を併せ持っています。
半導体製造時の熱処理プロセスといった高温を使用する際も、石英ガラスが炉芯管やボートといった耐熱形状安定性の高い部材として用いられています。


■全波長にわたる高い光透過率
透明石英ガラスは、一般のガラスと比べて光透過率が紫外から赤外の全波長にわたって非常に高いという特徴があります。
露光装置用のレンズ素材や、光ファイバー素材、ランプ用材料など、利用方法は多岐に渡ります。特に短波長の紫外領域では、どのガラスよりも良好な透過性を示します。